成功斩获超声波清洗装置专利

在半导体技术领域,若名芯半导体科技(苏州)有限公司与若名芯装备(苏州)有限公司成功斩获一项极具创新性的专利——“一种超声波清洗装置”(授权公告号CN223181083U)。

这款装置的设计堪称精妙绝伦。它巧妙地将旋转台、可升降固定板以及传导部件有机结合,搭建起独特的容纳腔结构,还配备了高效的传导液循环系统。在工作时,清洗液经由专门设计的输入管精准地输送到晶圆表面,均匀地形成一层水膜。与此同时,内置的超声波发生部开始发挥作用,所产生的超声波凭借传导介质,高效且稳定地传递至整个晶圆的上表面,从而实现了对晶圆整面的同步超声波清洗。

这种创新的设计带来了显著的优势。它保证了晶圆各个部位的清洗频率高度一致,极大地提升了清洗的效果和效率。而且,整个装置的结构简洁实用,没有过多复杂的构造,不仅降低了维护成本,还提高了设备的可靠性和稳定性。这一成果无疑是若名芯在半导体清洗技术方面的一大突破,有望为整个行业的发展注入新的活力,推动半导体制造工艺向更高水平迈进。

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