槽式清洗机 单片清洗机 槽式清洗机 晶圆化学镀设备 炉管清洗机 片盒清洗机 全自动槽式清洗机 ·可实现各种湿法清洗和湿法刻蚀工艺 ·可根据不同产品要求搭配不同配置 ·最高工艺指标可实现(0.16 um/ <20ea Metal / <1E 10) 半自动槽式清洗机 ·可实现各种湿法清洗和湿法刻蚀工艺 ·可根据不同产品要求搭配不同配置 ·最高工艺指标可实现(0.16 um/ <20ea Metal / <1E 10)