若名芯半导体科技（苏州）有限公司

· 产品模块化设计，部署灵活，升级方便。
· 对标国际友商品牌，颗粒控制好，清洗能力强。
· 成本更低的环境友好型设备。

· 1BRM+1SPIN、1BRM+2SPIN等多种选择
· 高端毛刷工艺
· 独立药液控制，无交叉污染。
· 双面清洗
· 多种药液供给模块

· 颗粒控制：19nm<30ea。
· 金属污染：<5E8 atem/cm2

· 产品模块化设计，部署灵活，升级方便。
· 对标国际友商品牌，颗粒控制好，清洗能力强。
· 客户定制化程度高。

· 4/6/8SPIN等多种选择
· 高浓度O3W清洗
· 高端毛刷工艺
· Spary二流体清洗
· 多种药液供给模块
· 独立药液控制，无交叉污染。

· 模块化设计，灵活应对多种布局。

· 4SMIF+Flip、8SMIF、10SMIF
· 300+WPH with OCR reading
· 核心部件MCBF 1500万次
· ISO class 1级洁净度

· 自主研发，具有浓度、温度反馈控制，精准调控。
· 灵活实现多药液浓度调合。

· 采用高端PFA管路。
· 满足DHF、BHF、SC1、SC2、SPM、TMAH等药液。
· 根据工艺需求定制。
· 采用高规部件，满足高端工艺需求。