· 可实现各种湿法清洗和湿法刻蚀工艺
· 可根据不同产品要求搭配不同配置

· 最高工艺指标可实现(0.16 um/ <20ea Metal / <1E 10)

全自动槽式清洗机

· 可实现各种湿法清洗和湿法刻蚀工艺
· 可根据不同产品要求搭配不同配置

· 最高工艺指标可实现(0.16 um/ <20ea Metal / <1E 10)

半自动槽式清洗机