槽式清洗机
全自动槽式清洗机
·可实现各种湿法清洗和湿法刻蚀工艺
·可根据不同产品要求搭配不同配置
·最高工艺指标可实现（0.16 um/ <20ea Metal / <1E 10）
半自动槽式清洗机
·可实现各种湿法清洗和湿法刻蚀工艺
·可根据不同产品要求搭配不同配置
·最高工艺指标可实现（0.16 um/ <20ea Metal / <1E 10）
若名芯半导体科技（苏州）有限公司
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