最终清洗机

·产品模块化设计，部署灵活，升级方便。

·对标国际友商品牌，颗粒控制好，清洗能力强。

·客户定制化程度高。

·4/6/8SPIN等多种选择

·高浓度O3W清洗

·高端毛刷工艺

·Spary二流体清洗

·多种药液供给模块

·独立药液控制，无交叉污染。

分选机

·模块化设计，灵活应对多种布局。

·4SMIF+Flip、8SMIF、10SMIF

·300+WPH with OCR reading

·核心部件MCBF 1500万次

·ISO class 1级洁净度

药液单元

·自主研发，具有浓度、温度反馈控制，精准调控。

·灵活实现多药液浓度调合。

·采用高端PFA管路。

·满足DHF、BHF、SC1、SC2、SPM、TMAH等药液。

·根据工艺需求定制。

·采用高规部件，满足高端工艺需求。