片盒清洗机 单片清洗机 槽式清洗机 晶圆化学镀设备 片盒清洗机 浸泡式片盒清洗机 ·面向Cassette/FOUP/FOSB/POD/BoatJip/Trip等产品清洗干燥 ·清洗+干燥时间可小于30min 旋转式片盒清洗机 ·面向Cassette/FOUP/FOSB/POD/BoatJip/Trip等产品清洗干燥 ·清洗+干燥时间可小于30min